中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，中微总部向着既定建成投产目标稳步推进。华南装配功能于一体 。及生PECVD 等微观加工设备研发制造 ，产基
地期基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、封顶并持续拓展智能玻璃 、广州公司整体规划总投资 30 亿元 。中微总部测试 、华南近日 ，及生本次封顶的产基一期项目占地约 50 亩 ，投资约 10 亿元，地期板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。封顶位于广州增城经济技术开发区的广州公司中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，集研发、